Stabil-Ion® 真空测量系统
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	Bayard-Alpert类型电离真空计
	真空阀门和流量控制系统

可变流量控制阀门

• 气体流量连续性调节，从300 Torr liters/sec到10E-10 Torr liter/sec以下

• 质谱检测无泄漏密封

• 承受450° C烘烤

• 阀门构件放气量极少，减少真空污染

• 进口压力范围从200 psi 到 10E-10 Torr以下

• 控制重复性好

超高真空阀门

• 烘烤性好 – 无论打开或截止状态

• 长效使用 – 长期使用后密封面变形极小

• 维护方便 – 现场可以更换金密封环

• 终极压力低 – 真空环境仅接触特殊处理过的304不锈钢和纯金

• 泄漏率小 – 小于 10E-13 liter/sec