Stabil-Ion® 真空测量系统
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Stabil-Ion® 真空计

• 全金属保护外壳，消除玻璃外壳真空计的外壳破裂、内壁气泡或氦气渗透的先天缺陷。

• 完全接地和静电保护的外壳构成没有外界电子干扰的测量环境。

• 防止烧断的灯丝设计。

• 精密绕制、预除应力的阳极线圈即使在高温除气后也能够保持原有的形状。

• 灯丝的受力设计保证任何时候不漂移。

370 Stabil-Ion® 真空控制器

• 长期稳定的高精确度和高重复性的真空测量极大帮助提高工艺的良率和设备效能。

• 超高真空应用的控制器和真空计的有效量程到达10E-11 Torr量级。

• 美国联邦标准技术局认证的个体校准。

347 Stabil-Ion® 真空计模块

在真空计上直接安装电路器件构成此类外形小巧、使用方便、可靠耐用的真空计模块。Stabil-Ion® 真空计模块具有Stabil-Ion® 真空测量系统的所有特性和优势。

特性:

• 外形小巧，但具备所有Stabil-Ion® 真空计出色的性能表现。

• 在有效量程内（到10E-11 Torr）极高的精确度。

• 双灯丝设计延展了设备的工艺时间。

• 模拟量输出，RS-485, 或 DeviceNet 通讯接口。

• 全金属设计消除了玻璃的先天缺陷，且射频杂讯免疫。

• 模块化设计方便真空计的更换。

• CE 电气认证。