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Micro-Ion® 真空测量系统

Micro-Ion^® 真空计

小型化，全金属保护屏蔽，宽量程，灯丝烧断保护和较少的发热量

• 特别适用于日益复杂紧凑的真空设备
  Micro-Ion^® 真空计的体积只有玻璃真空计的5%。免除了在设备设计中需要专门为庞大体积的玻璃真空计考虑预留安全的空间，小巧的Micro-Ion^® 真空计几乎可以安装在任何位置。

• 全金属外壳的设计消除了玻璃真空计脆弱的隐忧
  只需要考虑这样并不少见的可能：在工艺或实验中，玻璃真空计的外壳忽然崩溃，真空系统内溅满玻璃碎片。宝贵的计划时间将用于清理维护真空系统。

• 更宽的有效量程
  独有的双阳极和金属屏蔽测量环境设计将有效量程拓宽至5 x 10E-2 Torr，而玻璃真空计只有5 x 10E-3 Torr。同时Micro-Ion^® 真空计的X射线限制与玻璃真空计相同 (3 x 10E-10 Torr)。

• 更多的设备工艺时间
  成组的具备烧断保护特性的的镀氧化钇的铱灯丝保证了更长的使用寿命。备用的灯丝避免了意外的停机，为正常周期的更换工作提供了缓冲。

• 较少的发热量
  Micro-Ion^® 真空计只需要玻璃真空计8%的功耗。低功耗意味着工艺或实验中有较少的热量干扰，灯丝的意外烧断，以及真空计周边的高温导致的器件和电线的损坏。

358 Micro-Ion^® 真空测量系统　

• 配用小巧但性能优异的全金属双阳极的Micro-Ion^® 真空计。

• 超小型的真空计赋予安装的灵活性。

• 基本系统配用一路Micro-Ion^® 真空计，电子轰击除气，远端控制。

• 有效量程3x10E-10 Torr (4x10E-8 Pascal)到5x10E-2 Torr (7 Pascal)。

• 选配双路Convectron^® 真空计拓宽量程至大气压并提供自动开关离子Micro-Ion^® 真空计的功能。

• 紧凑经济的半标准机架尺寸。RS-232或RS-485/422数据接口可选。

• 多到6路工艺控制设定输出继电器并可以自由定义。　

354 Micro-Ion^® 真空计模块

• 具备和发挥了Micro-Ion^®  真空计的所有优点

• 特别适用于日益复杂紧凑的真空设备

• 全金属外壳的设计消除了玻璃真空计脆弱的隐忧

• 更宽的有效量程

• 更多的设备工艺时间

• 较少的发热量

• 紧凑、可靠、方便、经济的真空测量方案

• 有效量程5 x 10E-2 Torr到1 x 10E-9 Torr。

• 三位数显使得在现场可以直接观察到真空度（可选配置）。

• RS-485 或 DeviceNet 计算机接口。

• 全金属、CE电气认证的外壳设计，射频杂讯免疫。

356 Micro-Ion^® Plus 真空计模块

在可靠的Micro-Ion^®  真空计模块中，将最新技术的 Conductron® 超小型真空计植入，构成从大气压到高真空的全量程测量方案。

• 从大气压到高真空的宽量程。

• 混合两种真空计，节约空间。

• 双灯丝保证了设备工艺时间。

• 自动切换离子真空计的开关，延长使用寿命。

• 简单方便的手动操控和校准。

• 两路工艺控制设定输出用于安全互锁。

• 可选的现场显示，方便系统真空的构建和诊断。

• 可以选用RS-485或DeviceNet™数据接口。