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On-Board®
低温泵系统
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具有集成控制和外设部件的低温泵系统。可以快速的实现与设备系统的控制的整合和系统集中操控。
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稳定的工艺性能。
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性能经过强化，提供设备更多的工艺时间。
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缩短再生时间，是Cryo-Torr®系列低温泵的三分之一到一半。
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快速再生™
功能提升完全再生之间的性能表现。
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成组的低温泵具有群组再生功能，可以大大缩短整个系统的再生时间耗用，增加设备的有效使用时间。
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GOLDLink®
实时监控系统提供24/7的保障。
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全球性的服务支持体系。
On-Board®低温泵集成了微电脑控制，可以显著提高泵体的性能，并提供系统自我诊断和设备通讯的功能。On-Board®低温泵可以适合复杂的软件程序控制。现在全球的追求性能和可靠性的低温泵主流应用正是采用On-Board®做为标准的解决方案。
On-Board®低温泵为各种高要求的真空工艺提供洁净、可靠和迅捷的真空获得手段，并保证了设备的高产和工艺的稳定性。On-Board®低温泵有全系列的品种，满足各类工艺和应用条件的选用。
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On-Board低温泵
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4F
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8
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8F
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10
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10F
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400
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抽速
- 升/秒.
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水气
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1,100
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4,000
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4,000
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9,000
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9,500
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17,500
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空气
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370
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1,500
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1,500
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3,000
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6,000
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氢气
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370
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2,500
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2,200
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5,000
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12,000
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氩气
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310
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1,200
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1,200
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2,500
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5,000
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容量
- 标准升
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氩气
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210
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1,000
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1,000
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2,000
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2,500
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氢气
(5x10-6 Torr)
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3
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17
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12
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24
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24
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42
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再生时间
(冷到冷) |
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完全再生
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75
min.
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2.5
hrs
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2.5
hrs
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2.5
hrs
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2.5
hrs
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3
hrs
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快速再生
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<1
hr
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<1
hr
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<1
hr
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<1
hr
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<1
hr
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<1.5
hrs
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